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半導(dǎo)體裝備關(guān)鍵耗材國產(chǎn)化取得技術(shù)突破

日期:2024-09-02 15:15:00 信息來源:科學(xué)網(wǎng)

 ?。?span style="background-color: rgb(248, 249, 244);">作者:甘曉)記者從天津大學(xué)機械工程學(xué)院獲悉,該院先進材料與高性能制造團隊在氮化鋁、氮化硅陶瓷半導(dǎo)體設(shè)備耗材高精度加工基礎(chǔ)與應(yīng)用研究方面取得新突破。該院科研人員自主研發(fā)出主軸微納調(diào)控超精密制造系統(tǒng),為硬脆材料高精度低損傷加工提供了重要的技術(shù)支撐。相關(guān)成果在線發(fā)表于《極端制造》。

  據(jù)了解,以氮化硅、氮化鋁陶瓷為代表的硬脆材料高超精密部件廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)中晶圓的氧化、刻蝕、離子注入等各種工藝制程中,是制造門檻極高的一類重要器件,成為限制我國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展的關(guān)鍵技術(shù)之一,其復(fù)雜結(jié)構(gòu)陶瓷構(gòu)件超精密制造涉及的大量科學(xué)問題和關(guān)鍵制造技術(shù)亟待解決和突破。

  研究團隊負責(zé)人隋天一介紹,由于其材料特性,硬脆材料在精密加工過程中極易引入表面/亞表面損傷,進而影響精密部件使役性能及壽命。

  因此,研究人員系統(tǒng)開展硬脆材料去除機理、近無損加工工藝以及專用超聲加工裝備等多方面的基礎(chǔ)與應(yīng)用研究,系統(tǒng)揭示多類型陶瓷材料損傷生成機制,突破硬脆材料加工過程力熱調(diào)控以及大尺寸面型收斂工藝難題,提出硬脆材料大深徑比制孔、旋量可控磨拋等關(guān)鍵技術(shù),實現(xiàn)大尺寸復(fù)雜結(jié)構(gòu)氮化硅、氮化鋁陶瓷半導(dǎo)體裝備耗材的高效率、高精度加工。該技術(shù)為半導(dǎo)體設(shè)備關(guān)鍵耗材自主可控提供了重要技術(shù)支撐。

  相關(guān)論文信息:https://doi.org/10.1088/2631-7990/ad7076